Металлизация ультрабольших интегральных схем
Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
کال:
2015
خپرونه:
3-е изд. (эл.)
خپرندویه اداره:
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
ژبه:
russian
صفحه:
277
ISBN 10:
5996325691
ISBN 13:
9785996325696
لړ (سلسله):
МИЭТ
فایل:
PDF, 7.22 MB
IPFS:
,
russian, 2015
Litres
غواړئ کتاب پلورنځي ته اضافه وکړئ؟ مونږ سره د support@z-lib.do له لارې اړیکه ونیسئ
File converter
د لټون نورې نبیجې
More benefits 
