Optical and EUV Lithography: A Modeling Perspective
Andreas Erdmannدا کتاب تاسو ته څنګه خواښه شوه؟
د بار شوي فایل کیفیت څه دئ؟
تر څو چې د کتاب کیفیت آزمایښو وکړئ، بار ئې کړئ
د بار شوو فایلونو کیفیتی څه دئ؟
State-of-the-art semiconductor lithography combines the most advanced optical systems of our world with cleverly designed and highly optimized photochemical materials and processes to fabricate micro- and nanostructures that enable our modern information society. The precise fabrication and characterization of nanopatterns requires an in-depth understanding of all involved physical and chemical effects. This book supports such an understanding from a model-driven perspective, but without a heavy mathematical emphasis. The material for the book was compiled during many years of lecturing on optical lithography technology, physical effects, and modeling at the Friedrich-Alexander-University Erlangen-Nuremberg and in preparation for dedicated courses on special aspects of lithography. The book is intended to introduce interested students with backgrounds in physics, optics, computational engineering, mathematics, chemistry, material science, nanotechnology, and other areas to the fascinating field of lithographic techniques for nanofabrication. It should also help senior engineers and managers expand their knowledge of alternative methods and applications.
درجه (قاطیغوری(:
کال:
2021
خپرندویه اداره:
SPIE--The International Society for Optical Engineering
ژبه:
english
صفحه:
374
ISBN 10:
1510639012
ISBN 13:
9781510639010
فایل:
PDF, 20.84 MB
ستاسی تیګی:
IPFS:
CID , CID Blake2b
english, 2021
کاپی کول (pdf, 20.84 MB)
- Checking other formats...
- ته بدلول
- Unlock conversion of files larger than 8 MBPremium
غواړئ کتاب پلورنځي ته اضافه وکړئ؟ مونږ سره د support@z-lib.fm له لارې اړیکه ونیسئ
د ۱- ۵ دقیقو په جریان کې فایل ستاسی ایمل ته دررسیږی.
د ۱-۵ دقیقو په ترڅ کښې به فایل ستاسو د ټیلیګرام آکاونټ ته وسپارل شي.
یادونه: مطمئن شئ چې تاسو خپل آګاونټ د Z-Library Telegram بوټ سره تړلی دی.
د ۱-۵ دقیقو په ترڅ کښې به فایل ستاسو د Kindle وسیلې ته وسپارل شي.
ملاحظه هر کتاب چي تاسي Kindle ته ليږئ باید تصدیق شی. خپله الکترونیکی پوسته تفتیش کړئ چې پکښې باید د Amazon Kindle Support له خوا مکتوب وی.
ته بدلون په کار دي
ته بدلون ناکام شو
Premium benefits
- Send to eReaders
- Increased download limit
- File converter
- د لټون نورې نبیجې
- More benefits